臺式電鏡能譜一體機是集成化成像分析系統，分辨率提升20%，進一步增加應用范圍，更加適用于對電子束敏感的樣品，借助該系統，既可觀察樣品的表面形貌，又可分析其元素組分。

　　研究樣品時，得到樣品的形貌信息只是解決了一半問題，獲得樣品的元素組分信息往往也是必要的，借助全面集成、特殊設計的能譜探測器，電鏡能譜一體機可以完善解決上述所有問題。一體機是一種基于樣品被電子束激發而產生X射線的分析儀器，能譜儀無論軟件、硬件都是*集成設計在電鏡能譜一體機系統中。

　　軟件可以使用戶實現多點分析，檢測樣品的元素組分。此外，該軟件還可以擴展到元素分析線面掃功能，分步操作界面可以幫助用戶更方便地收集、導出分析數據，結合了表面成像功能和元素分析能譜功能，可以準確的進行樣品表面元素的定性和定量分析，集背散射電子成像、二次電子成像和能譜分析于一體。

　　飛納臺式場發射電鏡操作簡單，效率高，無需防震臺和磁屏蔽，無樓層要求，只需要一張承重200kg的桌子，采用穩定堅固的超薄窗口，透過率在0.26-0.6 KeV低能量范圍，是聚合物窗口的2-3倍，適合輕元素檢測和低電壓能譜分析，全能量范圍平均透過率比聚合物窗口高35%，進一步提高了能譜儀的X射線計數率。

　　臺式電鏡能譜一體機特點：

　　1、高分辨臺式場發射電鏡；

　　2、內置真空鎖，15s抽真空，實時導航，全面跟蹤樣品；

　　3、使用方便的場發射電鏡，30分鐘培訓即可上手，無需噴金直接觀察不導電樣品。