1948

飛納電鏡源自飛利浦電子光學(xué)部分，1948 年，D 一臺(tái)飛利浦實(shí)驗(yàn)室研發(fā)的透射電鏡 (400kV!)。

1949

飛納電鏡源自飛利浦電子光學(xué)部門(mén)，1949 年，D 一臺(tái)商業(yè)化的電鏡 EM100 在 PHILIPS 實(shí)驗(yàn)室制造完成。

 

1997 年美國(guó) FEI 公司收購(gòu)飛利浦電鏡部； FEI 和飛利浦電子光學(xué)宣布合并其業(yè)務(wù)，F(xiàn)EI 公司在掃描電鏡行業(yè)處于**地位，其產(chǎn)品代表X進(jìn)的電鏡技術(shù)。

2006 FEI 成立 Phenom World 公司，發(fā)布D 一臺(tái)臺(tái)式掃描電子顯微鏡飛納 Phenom G1，放大倍數(shù) 10,000 倍，使用高亮度 CeB6 燈絲；

2012 年 3 月，Karel.Mast 教授帶領(lǐng)原飛利浦電鏡部門(mén)精英研發(fā)出S臺(tái)電鏡能譜一體機(jī)，開(kāi)創(chuàng)電鏡能譜設(shè)計(jì)新理念，兩年銷(xiāo)量 790 臺(tái)；同時(shí)推出粗糙度測(cè)量等功能性軟件；

2013 年 Phenom-World 公司推出第 3 代飛納臺(tái)式掃描電鏡產(chǎn)品，第 3 代飛納臺(tái)式掃描電鏡主要優(yōu)勢(shì)在于分辨率由一代的 30 nm 提高到了 17 nm，放大倍數(shù)由 20,000 X 提高到 100,000 X，臺(tái)式掃描電鏡分辨能力從此可與大型鎢燈絲電鏡媲美， 結(jié)合飛納臺(tái)式掃描電鏡 15 秒快速抽真空，不導(dǎo)電樣品無(wú)需噴金等；

2014 年 9 月，Phenom-World 公司共計(jì)推出 4 代產(chǎn)品，其中飛納電鏡能譜一體機(jī) Phenom ProX 系統(tǒng)S 次將能譜和電鏡集成在一起，通過(guò)一個(gè)軟硬件系統(tǒng)控制，將能譜的操作難度顯著降低，飛納電鏡能譜一體機(jī) Phenom ProX 開(kāi)創(chuàng)了電鏡能譜領(lǐng)域的新概念，兩年時(shí)間內(nèi)增加了 1100 名用戶(hù)。

2015 年 3 月 22 日，Phenom World 公司推出第 5 代產(chǎn)品，分辨率達(dá)到 14 納米，放大倍數(shù) 13 萬(wàn)倍；同年，PW 推出了世界S 臺(tái)熒光電鏡一體機(jī) Delphi，將光電關(guān)聯(lián)電鏡技術(shù)發(fā)展成為臺(tái)式設(shè)計(jì)；

2019 年，飛納臺(tái)式場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡橫空出世，在同樣體積的前提下將分辨率提升到了 2 nm，同時(shí)標(biāo)配了背散射以及能譜探頭（選配二次電子探頭）。

 

那么我們不禁會(huì)問(wèn)，提升分辨率的好處顯而易見(jiàn)，那么將掃描電鏡做到如此小的尺寸能夠帶來(lái)哪些好處呢？

 

節(jié)省空間，降低實(shí)驗(yàn)室成本

落地式電鏡一般都需要單獨(dú)的房間安置，面積基本上為 20 平米起步，而且需要安裝在震動(dòng)較小的樓層，如果環(huán)境震動(dòng)超標(biāo)還需要購(gòu)置防震臺(tái)。相比之下，飛納臺(tái)式電鏡的要求就沒(méi)有那么嚴(yán)苛了，只需要一個(gè)不足 1 平米的桌子，并且不需要購(gòu)買(mǎi)防震臺(tái)。因此，臺(tái)式電鏡可以節(jié)約大量的空間成本。

 

管理輕松，降低人力成本

落地式電鏡往往需要專(zhuān)業(yè)人員管理，平均兩周更換一根燈絲，同時(shí)需要清理陽(yáng)極、光闌等配件，平時(shí)還需要購(gòu)買(mǎi)惰性氣體和液氮，每年還需定期維護(hù)保養(yǎng)。

 

而飛納臺(tái)式掃描電鏡就非常任性了，從設(shè)計(jì)上就摒除了上述繁雜的操作，它不需要專(zhuān)業(yè)人員管理，不需要液氮和惰性氣體，不需要清理陽(yáng)極和光闌，只需2-3年（視具體情況而定）更換一次燈絲以及做一次維護(hù)即可。