掃描式電子顯微鏡是一種高分辨率的顯微鏡，利用電子束與樣品進(jìn)行相互作用來(lái)獲取樣品表面的詳細(xì)形貌和組織結(jié)構(gòu)信息。在繼承了Phenom（飛納）產(chǎn)品操作方便、30秒快速成優(yōu)質(zhì)圖像、售后無(wú)憂等優(yōu)點(diǎn)的同時(shí)，電鏡分辨率和圖像質(zhì)量顯著提高。采用了壽命高達(dá)1500小時(shí)的新一代CeB6燈絲和分辨率更高，功能更全的光學(xué)顯微鏡，提高后的光學(xué)顯微鏡有聚焦功能，放大倍數(shù)在20-120倍之間，具備明場(chǎng)和暗場(chǎng)兩種模式。
與光學(xué)顯微鏡相比，掃描式電子顯微鏡具有以下優(yōu)點(diǎn)：
高分辨率：SEM的分辨率較高，可以觀察到納米級(jí)別的細(xì)節(jié)。
大深度焦點(diǎn)：由于采用了聚焦系統(tǒng)，SEM具有較大的深度焦點(diǎn)，使得樣品表面和深層結(jié)構(gòu)都能夠清晰顯示。
大樣品觀察：相比于光學(xué)顯微鏡，SEM可以觀察到較大的樣品，不受限于透明性和薄度。
表面成分分析：SEM可以通過X射線探測(cè)器對(duì)樣品進(jìn)行元素成分分析，以獲取樣品的化學(xué)信息。
掃描式電子顯微鏡在材料科學(xué)、生物學(xué)、納米技術(shù)、電子工程等領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用，對(duì)研究和分析微觀結(jié)構(gòu)至關(guān)重要。
EM使用電子槍產(chǎn)生高速電子束。這些電子經(jīng)過加速器和聚焦系統(tǒng)后，形成細(xì)束并聚焦在樣品表面上。高速電子束與樣品表面相互作用，產(chǎn)生多種信號(hào)。主要包括二次電子信號(hào)、反射電子信號(hào)、X射線等。SEM通過不同的探測(cè)器來(lái)收集這些信號(hào)。常見的探測(cè)器包括二次電子探測(cè)器和反射電子探測(cè)器。收集到的信號(hào)被轉(zhuǎn)換成電子圖像，并通過電子顯像系統(tǒng)顯示在監(jiān)視器上。這些圖像能夠呈現(xiàn)樣品表面的形貌、紋理和微觀結(jié)構(gòu)。
